渦輪分子泵區(qū)別于牽引分子泵，它是以高速旋轉(zhuǎn)的動葉片與靜止的靜葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的：

　　如上圖所示，渦輪分子泵由多級葉列組成，轉(zhuǎn)子與定子按次序交替排列。葉列的級數(shù)與壓縮比有關(guān);葉片的形狀會同時影響抽速與壓縮比，入口抽速大壓縮比小，接近出口則相反。分子泵工作時吸入壓力大多在1Pa以下，此時分子流狀態(tài)下，分子間的平均自由行程大，與高速旋轉(zhuǎn)的葉片之間的碰撞幾率遠(yuǎn)高于分子之間的碰撞。因此高速旋轉(zhuǎn)的葉片會使氣體在外摩擦作用下，形成定向運(yùn)動流向出口，產(chǎn)生抽氣效果，轉(zhuǎn)速越高，對抽速越有利。

　　隨著軸承技術(shù)、數(shù)控技術(shù)的發(fā)展，空氣軸承、磁懸浮軸承等的應(yīng)用，渦輪分子泵很好地解決了油污染的問題，目前工作范圍可以從1Pa到10^-9Pa，抽速則從50L/S發(fā)展到了25000L/S，甚至到達(dá)了40000L/S。

　　與牽引分子泵相比，渦輪分子泵在分子流狀態(tài)下抽速優(yōu)勢明細(xì)，但同時它在過渡流及黏滯流狀態(tài)下抽速會很小，對前級泵的要求較高。而牽引分子泵的壓縮比與抽氣槽形有關(guān)，提升簡單，因此就出現(xiàn)了結(jié)合兩種分子泵有點(diǎn)的復(fù)合分子泵。干式螺桿真空泵廠家在下一篇中繼續(xù)為大家介紹。